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產品特點
等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、刻蝕等目的。 真空等離子清洗機的結構主要分為五大組成部分：控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣體系統、真空泵系統。 （A）控制系統：控制系統作用在于控制整個真空等離子清洗設備的運行，以及整體系統的保護。 （B）激勵電源系統：等離子體的產生需要高壓激勵，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進行激勵，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數根據樣品實際情況可進行調節，可達到的改性效果。 （C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強度鋁合金腔體 電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式 根據不同行業與應用領域選擇腔體材質和電極板放置方式。 （D）工藝氣體系統：標配兩路工藝氣體，根據清洗材質的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳氣體。 （E）真空泵系統：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵 抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據測量樣品的真空度要求和體積要求來配置真空泵組。
