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產(chǎn)品特點(diǎn)
等離子表面處理是通過對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。 真空等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。 （A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個(gè)真空等離子清洗設(shè)備的運(yùn)行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。 （B）激勵(lì)電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì)，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進(jìn)行激勵(lì)，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實(shí)際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié)，可達(dá)到的改性效果。 （C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質(zhì)：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強(qiáng)度鋁合金腔體 電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式 根據(jù)不同行業(yè)與應(yīng)用領(lǐng)域選擇腔體材質(zhì)和電極板放置方式。 （D）工藝氣體系統(tǒng)：標(biāo)配兩路工藝氣體，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳?xì)怏w。 （E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵 抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測(cè)量樣品的真空度要求和體積要求來配置真空泵組。
行業(yè)應(yīng)用1.png "真空等離子清洗機(jī)廠家行業(yè)應(yīng)用")
比圖（水印版）.png "真空等離子清洗機(jī)廠家處理效果")
