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ICP干法等離子去膠機ST-3100

產品對比

下載

產品特點

  • 兼容4-8寸晶圓；
  • 單次可處理兩片晶圓，處理過程保持較低溫度；
  • 全自動程度高，實現全自動晶圓上下料、清洗流程；
  • 等離子密度高，去膠效果好
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 硬件選配

配件類型

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