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產品特點
RTE PLASMA等離子去膠機適用于硅基材料的晶圓表面去膠的清洗設備,也可用于光刻膠去除,碳化硅刻蝕,硬掩膜層干法清除,刻蝕后表面清潔,氧化硅或氮化硅刻蝕。
碳化硅刻蝕
硬掩膜層干法清除
表面殘留物清除
氧化硅或氮化硅刻蝕
刻蝕后表面清潔