隨著集成電路技術的發展，半導體封裝技術也在不斷創新和改進，以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術作為一種高效、環保的解決方案，能夠滿足先進半導體封裝的要求，被廣泛應用于半導體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。

DB工藝前等離子處理

芯片鍵合(Die Bonding)是指將晶圓上切割下來的單個芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個穩定的支撐，并確保芯片與外部電路之間的電氣和機械連接。常用的方法有樹脂粘結、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。

在點膠裝片前，基板上如果存在污染物，銀膠容易形成圓球狀，降低芯片粘結度。因此，在DB工藝前，需要進行等離子處理，提高基板表面的親水性和粗糙度，有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼，提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點膠質量的同時可以節省銀膠使用量，降低成本。

WB工藝前等離子處理

芯片在引線框架基板上粘貼后，要經過高溫使之固化。如果芯片表面存在污染物，就會影響引線與芯片及基板間的焊接效果，使鍵合不完全或粘附性差、強度低。在WB工藝前使用等離子處理，可以顯著提高其表面附著力，從而提高鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性，提升WB工藝質量。

*WB工藝前處理應用案例

Flip Chip (FC)倒裝工藝等離子應用

在Flip Chip（FC）倒裝工藝中，將稱為“焊球(Solder Ball)”的小凸塊附著在芯片焊盤上。其次，將芯片頂面朝下放置在基板上，完成芯片與基板的連接后，通常需要在在芯片與基板之間使用填充膠進行加固，以提高倒裝工藝的穩定性。

通過等離子清洗可以改善芯片和基板表面潤濕性，提高其表面附著力，進而影響底部填充膠的流動性，使填充膠可以更好地與基板和芯片粘結，從而達到加固的目的，提高倒裝工藝可靠性。

片式真空等離子清洗機

針對半導體行業，DB/WB工藝、RDL工藝、Molding工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝等，能夠大幅提高其表面潤濕性，保證后續工藝質量，從而提高封裝工藝的可靠性。

設備優勢：

一體式電極板結構設計，等離子體密度高，均勻性好，處理效果佳

雙工位處理平臺，四軌道同時上料，有效提升產能

可兼容多種彈匣尺寸，可自動調節寬度，提升效率并具備彈匣有無或裝滿報警提示功能

工控系統控制，一鍵式操作，自動化程度高

行業應用：

金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機污染物，提高焊接工藝的強度和可靠性

LED行業：點銀膠、固晶、引線鍵合前、LED封裝等工序中可提高粘和強度，減少氣泡，提高發光率

PCB/FPC行業：金屬鍵合前、塑封前、底部填充前處理、光刻膠去除、基板表面活化、鍍膜，去除靜電及有機污染物