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微波等離子在半導體去膠的應用

2022-08-24

前情提示:何為半導體晶圓plasma除膠?

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半導體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中,各類光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結合能力。


除膠之外,微波等離子還有什么應用?

·FC封裝微波等離子處理

·金屬鍵合前處

·晶圓表面活化


技術壁壘高,危機和機遇并存

· 技術壁壘較高,美、日、韓品牌形成壟斷

· 絕大部分品牌外購微波半導體等離子發生器

· 價格昂貴

· 交付周期超過半年

· 服務無法及時響應


sindin自主研發  掌控核心技術

· 國內首家自主研發微波半導體去膠發生器技術;

· 磁流體旋轉架,保證處理效果均勻;

· 微波無放電電極,高效均勻,保證刻蝕率;

· 低溫等離子體,避免產生熱損傷;

· 自偏壓要求低,微波結和磁路可以兼容。


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技術+服務+性價比  實現國產替代

技術保障

首創微波半導體去膠發生器技術,并可提供雙電源技術(MW+Bias RF)解決客制化問題。

服務保障

·研發實力

  • 專業的半導體研發團隊,并擁有多位十五年以上半導體從業經驗的高級工程師。

  • 華南理工大學等離子技術聯合實驗室,多位教授擔任項目技術顧問;

  • 四川大學半導體項目戰略合作伙伴;

·客制化方案

  • 多行業龍頭客制化方案經驗;

  • 產品全面,可滿足不同客制化需求。

·一站式服務

  • 銷售、技術、售后項目組一站式服務;

  • 專業有素的售后服務團隊輻射全國及海外。

價格優勢

降本30%以上,性價比高,產品完全符合行業標準。


效果是檢驗產品的唯一標準

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