全自動雙腔設計,可兼容6-8英寸WAFER
功能齊全、性價比非常高的科研系列接觸角測量儀
支持數字通信接口和模擬通信接口,可對接MES系統
超低處理溫度45℃,不造成熱影響,確保穩定的處理效果
采用晟鼎專利中頻數字電源,確保等離子體均勻,處理過程穩定
專門針對半導體行業的微波在線片式真空等離子清洗機,針對半導體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電,不對精密電路造成損害,采用磁約束方式,可兼容微波結和磁路。
快速有效清除產品表面浮沉顆粒,3um塵粒97%的清除率,6um塵粒98%的清除率
晟 鼎 | PLASMA處理及性能檢測方案
致力于為全球用戶提供專業的表面處理與檢測整體解決方案
價值觀:以客戶為中心,專業、高效、信賴、共贏
創立于
專利技術
手機行業市場占有率
研發人員
匯智聚力,科創未來
敢拼敢想的創新精神和極其專注的務實作風
堅持自主研發,助力“中國智造”!
等離子清洗機(plasma cleaner),利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、改性、刻蝕、涂覆等目的。
MEMS器件的性能高度依賴其材料體系的合理選擇與工藝處理。以核心結構材料為例,硅基材料(單晶硅、多晶硅)提供機械支撐與可動結構,需通過退火優化晶格完整性及應力分布。
在半導體領域,等離子清洗技術已經成為提升產品品質的關鍵環節。長期以來,高端等離子清洗設備市場被國外品牌壟斷,但國產晟鼎等離子清洗機的快速崛起正打破這一局面。晟鼎憑借其獨特的技術優勢和本土化服務,正逐漸獲得行業認可,發展成為等離子清洗設備領域的一匹黑馬。
在柔性顯示屏中,UTG表面需沉積抗指紋涂層、導電層等功能性薄膜,并確保后續與偏光片、OLED發光層等組件的高度結合質量。因此,UTG表面需具備良好的潤濕性和穩定的化學特性。等離子技術憑借高密度活性等離子體實現材料表面改性,提升超薄柔性玻璃(UTG)界面結合力,同時契合綠色制造需求,成為折疊屏核心材料升級的關鍵賦能技術。
等離子清洗機是一種高科技的干式表面處理設備,通過高壓電源電離氣體產生等離子體,等離子體直接作用在產品表面達到活化、清洗、去膠等作用,提升表面潤濕性能及表面附著力。
RPS遠程等離子源是基于電感耦合等離子體技術的自成一體的原子發生器,利用原子的高活性強氧化特性,達到清洗CVD或其他腔室后生產工藝的目的。