等離子體概念：
對于物質的存在，生活中感知最多的三種狀態：固體、液體、氣體。第四種狀態：等離子體。等離子體又名：電漿 ，英文：PLASMA 。
定義1：其形成是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產生的正、負離子，從而組成得離子化氣體狀物質；尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，其運動主要受電磁力支配，并表現出顯著的集體行為。
定義2：等離子體是帶電粒子和中性粒子組成的表現出集體行為的一種準中性氣體。
等離子清洗機(plasma cleaner)，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、刻蝕、涂覆等目的。