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SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機

產品對比

在線式真空等離子清洗機

SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機

半導體行業專用RF在線片式真空清洗機，PLASMA處理在線片式等離子處理系統

設備參數
型號SPV-12Z
設備尺寸1650*1318*1803mm（長*寬*高）
RF電源 功率0-600W 頻率13.56MHZ
容積12升（長500*寬340*高70mm）
軌道數量 4條*2（分為待料區與處理區）
氣路配置標配兩路，氬氣/氧氣（可定制）
系統控制工控系統

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