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SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機
SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機
產品對比
SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機
半導體行業專用RF在線片式真空清洗機，PLASMA處理在線片式等離子處理系統
設備參數
型號
SPV-12Z
設備尺寸
1650*1318*1803mm（長*寬*高）
RF電源
功率0-600W 頻率13.56MHZ
容積
12升（長500*寬340*高70mm）
軌道數量
4條*2（分為待料區與處理區）
氣路配置
標配兩路，氬氣/氧氣（可定制）
系統控制
工控系統
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