| 型號SPK-500S | 設備尺寸1800*1107*1675mm（長*寬*高） |
| 重量 280KG | 需求電源AC 220V/50Hz 單相2.5KW |
| 電源功率0-1000W可調（建議0-450W） |
| 電源頻率13.56MHz |
| 匹配器全自動真空電容匹配器 |
| 處理寬幅500mm | 槍頭尺寸570*90*74mm（長*寬*高） |
| 重量10KG | 槍頭可調節高度0-10mm（調節精度±0.3） |
| 常用處理高度1-5mm以內 | 槍頭冷卻范圍25-35℃ |
| 使用氣體Ar和O2兩路氣體 |
| Ar氣體調節范圍≤50L/min |
| O2氣體調節范圍≤50SCCM |
| 流水線速度0-100mm/s可調 | 傳送皮帶1.8米 | 皮帶材質防滑PU |
| 感應系統氣壓報警、功率報警 | 報警具備聲光報警功能 |
