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半導體RPS遠程等離子源PECVD腔室SPR-08

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半導體RPS遠程等離子源PECVD腔室SPR-08

SPR-08是一款基于電感耦合等離子體技術的自成一體的原子發生器，它的功能是用于半導體設備工藝腔體原子級別的清潔，使用工藝氣體三氟化氮（NF3）/O2，在交變電場和磁場作用下，原材料氣體會被解離，從而釋放出自由基，活性離子進入工藝室與工藝室上沉積的污染材料（SIO/SIN）或者殘余氣體（H2O、O2、H2、N2）等物質產生化學反應，聚合為高活性氣態分子經過真空泵組抽出處理腔室，提高處理腔室內部潔凈度。

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