玻璃是日常生活中非常常見的一種材料，具有化學惰性、性質穩定，除了用作建材外，玻璃通過涂層、覆膜等工藝后，還可以作為觸摸屏、鋼化膜等。玻璃本身的潤濕性能比較弱，涂層、覆膜則需要潤濕性能比較強，因此涂層、覆膜前的清洗成為了不可缺少的工藝環節。

等離子清洗是一種干式清洗方式，當玻璃基片處在等離子體中時, 由于表面受到等離子體中的荷能粒 (電) 子的 轟擊, 首先基片表面吸附的環境氣體、水汽、污物等被轟掉, 使表面清潔活化, 表面能提高, 當沉積時薄膜原子或分子更好地浸潤基片, 增大范德華力。其次玻璃基片表面經過荷能粒 (電) 子的撞擊, 從微觀上看, 基片表面會形成許多凹坑、孔隙, 在沉積過程中薄膜原子或分子進入這些凹坑、孔隙, 便產生了機械鎖合力。此外基片表面的粗化, 使實際的表面積增大, 這對增大范德華力、擴散附著力和靜電力都是有利的, 因此增大了總的附著力。利用等離子清洗機處理完后玻璃材料能夠立即進入下一步的加工過程。因而，玻璃等離子清洗機是一種穩定而又高效的工藝過程。

一、等離子處理前檢測

① 帶字玻璃樣品清洗前接觸角數據

② 不帶字玻璃樣品清洗前接觸角數據

二、等離子處理后處理

真空等離子清洗機實驗參數
處理產品	玻璃樣品
等離子設備	SPV-100/300W功率
等離子處理時間	180m
清洗結果	帶字（單位：度）	25-29	不帶字（單位：度）	25-36
反應氣體	氬氣100sccm

玻璃樣品臺階面（清洗后）接觸角測試報告

① 帶字玻璃樣品清洗后接觸角數據

② 不帶字玻璃樣品清洗前接觸角數據